设备型号：CK500

生产厂商：沈阳鹏程

机器状态：正常

购买时间：2021年

主要参数：

极限真空度：≤ 8x10-5 Pa(经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤ 2.0x10-8 Pa.l/S；四靶位，靶与样品距离60～110mm可调；可内烘烤室温～350℃，计算机多段式PID控温调节；配有深冷硅油循环机可实现-50～200℃温度控制，由热电偶闭环反馈控制，可调控温度精度±0.5℃。

功能用途：

通过单靶直溅、多靶共溅、多靶轮流溅射制备金属、合金、化合物、半导体薄膜。