设备型号：SEMISHARE SH-6
生产厂商：semishare
机器状态：正常
购买时间：2020年
主要参数：
探针座Ω型设计，XYZ均可平滑移动，带磁吸附开关，配置真空泵用于器件的真空吸附；配有3-Zoom显微镜，15：1三档变倍显微镜，可同时显示低倍和中倍/高倍画面，便于点阵操作；配置CCD可以进行探针操作的视频采集播放；可以实现对晶圆级器件样品进行观察、测试、剖析。
功能用途：
通过精密温控实现薄膜材料的相变，并实时测量电学性能，通过电阻值变化判断材料的相结构，此外还可以在电学脉冲信号下实时测量薄膜材料的电学性能。
