设备型号：Sigma300

生产厂商：德国 ZEISS SEM + Raith 图形发生器

主要参数：

二次电子分辨率：1.0nm@15kV,1.6nm@1kV

放大倍数：10～1,000,000x

束流：3pA～20nA

加速电压：0.02kV～30kV

最小步距增量≤0.1nm

可设定写场范围≥0.5μm×0.5μm～2mm×2mm